直線位置測量系統(tǒng)確定機(jī)器中運(yùn)動部件的位置，將此信息提供給電機(jī)的控制單元，反饋回路實(shí)現(xiàn)電驅(qū)動的位置控制。測量系統(tǒng)是一臺機(jī)器的核心部件，其性能對整臺機(jī)器的表現(xiàn)具有重大影響。博世力士樂開發(fā)的IMS-A式集成測量系統(tǒng)，與導(dǎo)軌系統(tǒng)*集成（圖1）。系統(tǒng)得電后無需回零即可即時得到位置，同時該產(chǎn)品無需電池。編碼器系統(tǒng)為感應(yīng)式原理，重復(fù)精度 ±0.25µm，刻尺精度3µm/m，測量精度可與光柵尺媲美。圖1(上) 為集成導(dǎo)軌的IMS-A測量系統(tǒng)。讀數(shù)頭牢固安裝于滑塊上并與之共同沿導(dǎo)軌運(yùn)動。圖1 (下) 的爆炸圖中可以看到在導(dǎo)軌上滾道之間的側(cè)面上集成有與增量刻尺，并且通過激光焊接金屬密封帶來防止污染和損壞。
圖2 顯示了增量感應(yīng)傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖。類似于變壓器非接觸工作原理，勵磁線圈由一臺發(fā)電機(jī)提供一個高頻交流電，解析電路來記錄接線圈中產(chǎn)生的感應(yīng)電壓。
對于測量系統(tǒng)中的感應(yīng)傳感器，在接線圈中的感應(yīng)電壓值可通過刻尺上的刻度條獲得?？潭葪l在刻尺上以1000 µm間距均布（見圖2）。調(diào)制深度取決于以恒定速度相對運(yùn)動的刻度條在磁場回路中的位置，而后產(chǎn)生一個周期為1000 µm近似正弦的振幅曲線。通過兩組相互錯位1/4周期布置的接線圈，傳感器相對于刻尺的位置和運(yùn)動方向都得以確定。如圖2所示，將帶有多個接線圈的平面線圈傳感器沿運(yùn)動方向分布，可得到正弦和余弦信號。一方面，對線圈組中所有線圈的解析，提高了信號電平和信噪比。另一方面，傳感器在測量方向上的分布方式將單個信號平均處理，進(jìn)一步改善了信號的質(zhì)量，從而抑制并幾乎拉平了線圈范圍內(nèi)的高精度刻度條的局部不規(guī)則性。
為了制造尺寸符合要求的傳感器，平面線圈的導(dǎo)體路徑使用特殊的制造工藝來生產(chǎn)，使導(dǎo)體路徑能夠通過結(jié)構(gòu)化形成，并且允許多層組成結(jié)構(gòu)。而為了確保勵磁線圈中具有相同的電流，保證線圈磁通密度的均勻和對稱性，博世力士樂設(shè)計了曲折結(jié)構(gòu)形式的電感式傳感器的勵磁繞組（如圖3所示）。在傳感器中的所有區(qū)域提供*相同的激勵電流，而不受線路電阻的波動影響。這就保證了所有接器線圈中有非常均勻的磁場激勵，意味著在線圈組內(nèi)不會出現(xiàn)不對稱性。
當(dāng)電感式傳感器以單位刻度的恒定速度移動，則如上所述，感應(yīng)信號的幅值將被調(diào)制為正弦曲線，周期為1000 µm。調(diào)制的質(zhì)量非常高，一部分歸功于前述傳感器的特殊設(shè)計。由博世力士樂開發(fā)的自適應(yīng)信號校正過程做支持，傳感器刻度的相對位置可以通過內(nèi)插測量信號來確定，偏差小于±0.75 µm。該量度被稱為插值精度。
由于電感式傳感器采用高頻交變磁場，所以位置確定能抵抗來自靜態(tài)磁場和電磁干擾的影響，例如直線電機(jī)可能造成的干擾。同時，材料的剩磁對電感測量原理沒有影響，這就是為什么它不像傳統(tǒng)的磁測量原理一樣，位置信號的的測量*沒有滯后。
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